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■熊大半導体研究施設｢SOIL｣入居第一号長州半導体製造装置開発ｾﾝﾀｰが開所(熊本県)

熊本大学の半導体研究施設｢SOIL｣への入居第一号となる｢長州半導体製造装置開発ｾﾝﾀｰ｣の開所式が17日､行われました｡

山口県に本社を置く長州産業が熊大｢SOIL｣内に開設した｢長州半導体製造装置開発ｾﾝﾀｰ｣は､液体と気体の性質を兼ね備えた｢超臨界流体｣を利用した半導体用製膜装置の研究開発を行う拠点として､産学連携の強化を目的に設立されました｡

熊大と共に､｢超臨界流体｣による半導体ﾃﾞﾊﾞｲｽ製造装置の自動化実現に向けた要素技術の開発を2027年度までに行い､その後､複数の半導体ﾁｯﾌﾟを積み重ねる｢三次元実装技術｣への利用を目的とした超臨界流体製膜の量産装置の製作と事業化を目指すということです｡

(10/18 12:29 熊本県民ﾃﾚﾋﾞ)

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